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技术专业化发展诱发产业分化,洁净室行业向专业化发展

作者: 深圳市中建南方环境股份pk拾开奖发表时间:2016-12-01 17:45:13浏览量:1950

净技术随着应用领域的不同,其技术着眼点也存在差异。随着市场空间的扩展和技术需求的专业化演进,洁净室工程行业呈现出进一步专业化发展的态势。
文本标签:中建南方|洁净室施工|洁净室技术|洁净室造价|洁净行业净化公司

技术专业化发展诱发产业分化,洁净室行业向专业化发展

   净技术随着应用领域的不同,其技术着眼点也存在差异。随着市场空间的扩展和技术需求的专业化演进,洁净室工程行业呈现出进一步专业化发展的态势。

   1、高端市场强调技术与服务,市场专业化发展趋势明显

   除了洁净技术要求相对不是很高的食品、化工、医疗卫生、实验室等行业的洁净室市场依然由大量的中小洁净室施工企业占有外,伴随着半导体和显示领域新技术的成熟,原先的一些大中型洁净技术企业逐渐向专业化方向发展。这些大中型洁净技术企业往往依托于自身的技术优势,选择自身的专业领域开拓市场,形成了良性发展的态势。

   这样现象的出现主要是因为洁净室市场整体环境的变化。随着新技术的成熟,很多半导体和显示产品生产企业,当然还包括众多有特殊洁净技术需求的市场,出于良品率提升,甚至基于工艺改进等方面的考量,都希望能够与洁净技术提供企业进行深度合作,加强自身在该领域的产品竞争力。而洁净工程技术企业也会借机向洁净技术整体解决方案提供商转型,以增强企业自身在高端洁净市场的竞争优势。

   这样就形成了整个产业良性发展的态势,洁净工程企业与用户结成了相对紧密的商业合作伙伴,都向专业化的方向发展。以前由于市场对洁净技术的要求相对较低,洁净室工程企业为了争夺市场,纷纷降价竞争,使得整个市场陷入价格竞争的困境。而随着洁净室市场的逐渐成熟和洁净技术要求的提高,整个洁净工程行业逐步向理性回归,向提升自身专业技术服务回归。整个洁净工程市场随着技术应用的深化,都向专业化、一体化综合解决方案提供商转型。

   2、 AMC、交叉污染防治和微震控制等成为洁净技术发展的前沿

   从技术的角度来看,分子层面的污染控制、交叉污染防治,以及微震控制等技术成为当前洁净技术发展重要的关注点。当然随着洁净技术应用领域的不同,其要求也会存在较大的差异,如洁净室内压力的控制,洁净技术向AMHS(Automatic Material  Handling System)的延伸,以及洁净室节能、气流分析与控制等都会是洁净技术提供企业需要关注的技术焦点。

   AMC对当前的IC生产其潜在的污染控制范围要比粒子污染要广泛很多,粒子污染控制只要确定粒径及个数,但对AMC控制而言,除了受芯片线宽的缩小而变化外,并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响,更有甚者,用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)其微量的分子对下一工序往往可能就是污染物。目前半导体芯片加工工序当前已多于300多个独立工序,对AMC控制指标的确定更是复杂。因此,IC生产对AMC的控制,对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求,对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm~1000pptm间,随着相关工艺的进一步发展,这种控制范围还需要进一步缩小。

   随着近年来工艺的复杂化和洁净室空间扩大等的影响,交叉污染防治成为洁净技术另外一个需要重点关注的热点。交叉污染主要是通过人员往返、工具运输、物料传递、空气流动、设备清洗与消毒、岗位清场等途径,将不同品种空气,甚至是材料成分混入导致的污染,或因人为、工器具、物料、空气等不恰当的流向,使洁净度低区域的污染物传入洁净度高的区域,而造成污染。现在主要是通过压力平衡、气流控制,以及隔间设计来解决这方面的问题,但是这样的措施与制造工艺流程的改进等存在一定的冲突,而且这些因素都不容易控制,存在相关风险不易控制等方面的困扰。

   另外随着制造精密程度的不断提升,微震是目前洁净技术中需要关注的另外一个前沿问题。美国普渡大学的纳米实验室,微震限值VC-E级,即达到频段1-80Hz,振幅3.12μm/s。该技术主要是用于纳米尺度电子束光刻系统,其线宽小于0.1μm,只有在稳定和可控的微震环境下才能够达到其生产的要求。而在现代半导体制造中,光刻技术仍然是主要的驱动力,然而由于光的折射和干扰,很多关键尺寸的缩小将导致良率急剧降低。事实上,现在洁净室内的很多生产设备,以及生产工艺本身都对防微震提出了更高的要求。

   3、AMHS和洁净室节能成为洁净室工程的共性技术需求

   AMHS(自动物料搬送系统)的应用范围广泛,并且随着生产智能化发展,这种技术在洁净室的应用将会越来越多。AMHS应用范围最广的主要是在半导体晶圆厂和面板显示厂。之所以这些工厂会大规模的采用AMHS,基本上是基于它可以快速准确的将Carrier搬送到目的地。这种技术将会伴随着信息技术在制造过程中的应用而大范围采用,将会对洁净技术提出新的要求。同时,气压控制也是洁净室技术中的一个重要技术,我国昆明动物生物安全4级实验室(ABSL4),主实验室-375Pa,负压梯度50Pa。

   洁净室本身就是一个巨大的能源消耗系统,如何降低能源消耗一直是衡量洁净技术的一个重要指标。虽然洁净室的功能和大小千差万别,但是其能耗要比相似大小的办公室高出10倍以上,其中风机能耗可能就站到35%-50%,能源消耗已经成为洁净技术较难普及的一个重要原因。中国电子学会洁净技术分会目前正在组织制订相关标准,希望能够规范相关技术和工艺的发展。深圳市中建南方环境股份pk拾开奖转载。

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